一种旋转靶材绑定固定装置
基本信息
| 申请号 | CN202022818975.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214161369U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214161369U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | B22D19/04（2006.01）I;B22D45/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 铸造；粉末冶金; |
| 发明人 | 王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 | 申请（专利权）人 | 河南东微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 郑州浩翔专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 关璐琪 |
| 地址 | 450000河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种旋转靶材绑定固定装置，包括底板，所述底板上壁固定连接有两个固定板，所述底板上壁固定连接有背管，所述底板上方设有旋转靶材，所述底板上壁固定连接有注液管，所述底板上方设有用于夹持旋转靶材的夹持机构。本实用新型结构设计合理，能够将旋转靶材夹紧，防止旋转靶材在绑定的过程中发生晃动，且能够保证旋转靶材与背管的圆心位于同一位置，以确保背管周围各个方向的绑定材料能够填充均匀，提高了旋转靶材的绑定效果，还能够使得液态绑定材料由下往上流动，能够保证填充材料均匀的布满空隙内，进一步提高了旋转靶材的绑定效果。 |
