存储芯片用氧化镁靶材分类研究台
基本信息
申请号 | CN202120832615.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215587166U | 公开(公告)日 | 2022-01-21 |
申请公布号 | CN215587166U | 申请公布日 | 2022-01-21 |
分类号 | B07B13/04(2006.01)I;B07B13/16(2006.01)I | 分类 | 将固体从固体中分离;分选; |
发明人 | 王永超;赵泽良;贾时君;陈耘田;陈渊博;王留土;张亚萌;李伟 | 申请(专利权)人 | 河南东微电子材料有限公司 |
代理机构 | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 关璐琪 |
地址 | 450000河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了存储芯片用氧化镁靶材分类研究台包括箱体,所述箱体内壁设有若干块挡板,所述箱体内部设有第一空间、第二空间、第三空间、第四空间,所述第一空间、第二空间、第三空间、第四空间由相邻的两块所述挡板和挡板与箱体内壁围成,所述第一空间、第二空间、第三空间、第四空间直径依次降低,所述第一空间、第二空间、第三空间、第四空间的两内侧壁均固定连接有凸台,若干个所述凸台均设置斜度,若干个所述凸台斜度相等,所述箱体两内侧壁固定连接有同一个安装板,所述安装板与所述挡板上表面固定连接。本实用新型通过卡槽与不同直径的镁靶材配合,从而使不同直径的镁靶材进入不同的通孔内,实现了自动化分类大大提高了分类效率。 |
