高纯钌靶加工用精密机
基本信息
| 申请号 | CN202022202139.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214722320U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214722320U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | B23Q3/06（2006.01）I;B23Q11/00（2006.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 王永超;赵泽良 | 申请（专利权）人 | 河南东微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 郑州浩翔专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李伟 |
| 地址 | 450000河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了高纯钌靶加工用精密机，包括台体与操作臂，所述操作臂的形状为L形，所述操作臂的一端与台体固定连接，所述台体表面开设有废料槽，所述操作臂侧壁安设有双轴正反转电机，所述双轴正反转电机一个输出端固定连接有第一齿轮，所述操作臂侧壁转动连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述第二齿轮远离第一齿轮一侧固定连接有转动杆，所述转动杆远离第二齿轮一端固定连接有第三齿轮，所述操作臂内顶壁转动连接有卧齿轮，所述第三齿轮与卧齿轮啮合，所述卧齿轮远离第三齿轮一侧固定连接有螺杆。本实用新型不仅可以稳定地夹持住钌靶，而且可以及时清理加工产生的碎屑，避免影响加工效果。 |
