一种钴铁硼靶材制备用混合装置

基本信息

申请号 CN202120832897.X 申请日 -
公开(公告)号 CN215233537U 公开(公告)日 2021-12-21
申请公布号 CN215233537U 申请公布日 2021-12-21
分类号 B01F7/18(2006.01)I;B01F15/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 王永超;赵泽良;郭利乐;张艳红;王天会;杨志刚;李洋洋;李伟 申请(专利权)人 河南东微电子材料有限公司
代理机构 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 关璐琪
地址 450000河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种钴铁硼靶材制备用混合装置,包括机体,所述机体内部开设有拌料腔,所述拌料腔顶部垂直转动套设有通心转轴,所述通心转轴内部垂直转动套设有转动轴,所述机体上表面一侧固定安装有支架,所述转动轴顶端转动安装在支架内,所述通心转轴外表面垂直固定安装有多个第一搅拌叶,所述转动轴底部伸出通心转轴的外表面垂直固定安装有多个第二搅拌叶,所述通心转轴顶部伸出机体且固定套接有第二齿轮,所述转动轴靠近支架下表面固定套接有第三齿轮,所述机体顶部固定安装有使第二齿轮和第三齿轮转动方向相反的驱动机构,此新型通过第二齿轮和第三齿轮反向转动,带动第一搅拌叶和第二搅拌叶反向转动,从而使混合效果更好。