一种高纯铬钛合金靶加工用清洗装置

基本信息

申请号 CN202121742650.5 申请日 -
公开(公告)号 CN215587337U 公开(公告)日 2022-01-21
申请公布号 CN215587337U 申请公布日 2022-01-21
分类号 B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 申请(专利权)人 河南东微电子材料有限公司
代理机构 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 关璐琪
地址 450000河南省郑州市郑州航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及铬钛合金靶清洗技术领域,特别是一种高纯铬钛合金靶加工用清洗装置,包括清洗箱和位于清洗箱内的螺纹杆,螺纹杆的上端延伸出清洗箱的顶部并设有链轮,两个链轮通过链条传动连接,在清洗箱的一侧上方设有电机,电机的输出轴与其中一个螺纹杆同轴连接;在螺纹杆上分别设有滑块,在两个滑块之间设有支撑板,在支撑板上设有清洗网框,在清洗网框内设有放置网板,在每个放置网板上分别设有夹持板;在清洗箱的下部盛装有清洗液,在清洗箱的底部设有超声波发生器;在清洗箱的上部设有干燥装置,干燥装置包括进风口和通风口,在通风口内设有通风风扇。本实用新型具有清洗效率高、自动干燥、使用便捷高效的优点。