图形生长衬底
基本信息
| 申请号 | CN201110355382.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103094443A | 公开（公告）日 | 2013-05-08 |
| 申请公布号 | CN103094443A | 申请公布日 | 2013-05-08 |
| 分类号 | H01L33/20(2010.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 彭晖 | 申请（专利权）人 | 亚威朗光电（中国）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 314305 浙江省海盐县海盐经济开发区大桥新区银滩路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示一种图形生长衬底，包括：生长衬底，形成在生长衬底上的隔离带，隔离带把生长衬底分隔成至少两个子区域。子区域的形状包括，多边形、圆形、环形、非规则形状，以及多边形、圆形、环形和非规则形状的组合，等。其中，子区域的多边形形状包括，正三角形、正方形、长方形、平行四边形、正六边形，等。隔离带的厚度为1埃至10微米，隔离带的宽度为：≥2x(预计的外延层生长的厚度-隔离带的厚度)。生长衬底进一步包括边缘隔离带，边缘隔离带形成在生长衬底的圆周的边缘。边缘隔离带的形状包括园环形状和齿状环形状，等。 |
