测量极小旋转角度的光学系统

基本信息

申请号 CN201110191137.6 申请日 -
公开(公告)号 CN102288135A 公开(公告)日 2011-12-21
申请公布号 CN102288135A 申请公布日 2011-12-21
分类号 G01B11/26(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I;G02B17/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 彭晖 申请(专利权)人 亚威朗光电(中国)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 314305 浙江省海盐县海盐经济开发区大桥新区银滩路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一个光学系统,包括,可以转动的反射镜,固定的反射镜,光源,光接收器。固定的反射镜与可以转动的反射镜形成一个波导系统。在旋转前,固定的反射镜与可以转动的反射镜相互平行。把光源和光接收器设置在固定的反射镜的后面,使得光源的光束以入射角α从波导系统的一端进入并照射到可以转动的反射镜上,光束在波导中经过多次反射。可以转动的反射镜转动角度后,每次被反射,其入射角增加因此,可以转动的反射镜与需要测量的转动物体共同转动的角度被放大了。最终从波导的另一端射出并达到光接收器,形成在光接收器上的光源的影像的位移被放大多倍。提高了测量极小旋转角度的光学系统的分辨率和精确性。