一种酸腐蚀废气处理装置

基本信息

申请号 CN202120153630.8 申请日 -
公开(公告)号 CN215610485U 公开(公告)日 2022-01-25
申请公布号 CN215610485U 申请公布日 2022-01-25
分类号 B01D53/75(2006.01)I;B01D53/79(2006.01)I;B01D53/40(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 饶伟星;张立安;吴雄杰;高海军;潘金平;肖世豪;沈益军;杨国梁;苏文霞;余天威 申请(专利权)人 浙江海纳半导体股份有限公司
代理机构 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 钱磊
地址 324300浙江省衢州市开化县华埠镇万向路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种酸腐蚀废气处理装置,包括酸腐蚀机,所述酸腐蚀机上设置有若干酸雾槽,所述酸雾槽上设置有可拆卸的集气盖,所述集气盖通过管道连接有废酸雾预处理系统,所述废酸雾预处理系统通过管道连接有酸腐蚀废气处理塔,所述废酸雾预处理系统用于预处理酸腐蚀废气。通过设置本处理系统,能更加高效的处理酸腐蚀废气,降低处理废气时的能量消耗,降低废气处理所需的药品。通过采用本方法,预处理废气浓度高、总量少,处理效果更好,使用成本更经济;整体药剂使用量大约会下降20%。