一种提高硅片表面金属含量测试效率的治具载台
基本信息
| 申请号 | CN202121339792.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215894531U | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN215894531U | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | G01N33/00（2006.01）I;B25H1/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张立安;吴雄杰;王志雄;白超;沈益军;肖世豪;潘金平;许琴;陈伯弘;任蔓青 | 申请（专利权）人 | 浙江海纳半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 温州青科专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 钱磊 |
| 地址 | 324300浙江省衢州市开化县华埠镇万向路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种提高硅片表面金属含量测试效率的治具载台，本实用新型，包括转盘底座，所述转盘底座外表面的底部通过转轴转动安装有支撑腿，所述支撑腿的外表面安装有透明橡胶套，所述转盘底座外表面的顶部转动安装有轴承，所述转盘底座的内部安装有小型电机，所述小型电机的输出端安装有载台。本实用新型，在转盘底座设置有小型电机，同时载台和转盘底座的连接处设置有轴承，通过小型电机输出端的转动，带动载台旋转，从而实现载台内部的硅片与试剂充分混合目的，不用手工摇片的方法，也能达到硅片与试剂充分混合目的，同时提高了产品进行金属含量检测的效率，也避免出现人为因素造成检测结果数据不准确的问题。 |
