一种提高硅片表面金属含量测试效率的治具载台

基本信息

申请号 CN202121339792.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215894531U 公开(公告)日 2022-02-22
申请公布号 CN215894531U 申请公布日 2022-02-22
分类号 G01N33/00(2006.01)I;B25H1/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张立安;吴雄杰;王志雄;白超;沈益军;肖世豪;潘金平;许琴;陈伯弘;任蔓青 申请(专利权)人 浙江海纳半导体股份有限公司
代理机构 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 钱磊
地址 324300浙江省衢州市开化县华埠镇万向路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种提高硅片表面金属含量测试效率的治具载台,本实用新型,包括转盘底座,所述转盘底座外表面的底部通过转轴转动安装有支撑腿,所述支撑腿的外表面安装有透明橡胶套,所述转盘底座外表面的顶部转动安装有轴承,所述转盘底座的内部安装有小型电机,所述小型电机的输出端安装有载台。本实用新型,在转盘底座设置有小型电机,同时载台和转盘底座的连接处设置有轴承,通过小型电机输出端的转动,带动载台旋转,从而实现载台内部的硅片与试剂充分混合目的,不用手工摇片的方法,也能达到硅片与试剂充分混合目的,同时提高了产品进行金属含量检测的效率,也避免出现人为因素造成检测结果数据不准确的问题。