一种直拉单晶硅炉热场的三相交流加热器及其加热方法
基本信息
| 申请号 | CN202110941930.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113737272A | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN113737272A | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | C30B15/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 潘金平;肖世豪;沈益军;张立安;饶伟星;王伟棱;郑春松;冯小娟;苏文霞 | 申请（专利权）人 | 浙江海纳半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 温州青科专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 钱磊 |
| 地址 | 324300浙江省衢州市开化县华埠镇万向路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于直拉单晶炉热场技术领域，具体的说是一种直拉单晶硅炉热场的三相交流加热器及其加热方法，包括加热器本体和连接环，所述加热器本体包括三个弧形加热板，且三个弧形加热板能够拼接成完整的圆筒，所述弧形加热板的底部固连有引脚，所述弧形加热板底部两侧位置均开设有插槽。本发明通过设有推动装置，当坩埚长期使用发生变形或对中跑偏，以及受热膨胀时，坩埚的外壁会与推动装置接触，从而使得推动装置带动其两侧的偏转装置进行工作，当偏转装置工作时，弧形加热板在偏转装置的作用下向远离坩埚的方向运动，从而使得弧形加热板与坩埚之间的距离始终能够保持不变，进而避免了弧形加热板因坩埚的挤压而损坏。 |
