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一种点压力测试台

基本信息

申请号	CN201921986998.1	申请日	-
公开（公告）号	CN211122311U	公开（公告）日	2020-07-28
申请公布号	CN211122311U	申请公布日	2020-07-28
分类号	G01N3/08(2006.01)I;G01N3/04(2006.01)I	分类	-
发明人	闫方亮;杨丽霞;朱勋;史继岩;闫建康;匡小鹏;于渤	申请（专利权）人	北京聚睿众邦科技有限公司
代理机构	北京一枝笔知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张庆瑞
地址	100085北京市海淀区西山华府禧园56号楼1单元7层
法律状态	-

摘要

本实用新型属于压力测试设备技术领域，公开了一种用于半导体芯片的点压力测试台，包括底座仓、底座仓上端的支撑台架和支撑台架上端的夹具组件，底座仓上端与所述支撑台架通过螺丝固定连接，夹具组件滑动连接在支撑台架上端，夹具组件沿支撑台架中部对称设置，支撑台架上端固定有骨架，骨架呈门字型，骨架远离支撑台架端固定有点压力测试组件；该点压力测试台通过调节两个夹具之间的距离，便于摆放不同尺寸的半导体芯片，适用性广，同时在测试时，将压头与工件接触，可通过杠杆结构上的旋转螺母控制杠杆的水平，进而精确的控制压头与工件处于接触状态，测试精确，便于控制与读数；且支撑台架底部为锥形真空部，可有效避免应力集中，延长试验台的使用寿命。