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一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置

基本信息

申请号	CN202110727129.2	申请日	-
公开（公告）号	CN113512701A	公开（公告）日	2021-10-19
申请公布号	CN113512701A	申请公布日	2021-10-19
分类号	C23C14/24（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;H01L31/032（2006.01）I;H01L31/0445（2014.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	罗明新;张卫彪;任宇航;任宇珂	申请（专利权）人	浙江尚越新能源开发有限公司
代理机构	杭州知见专利代理有限公司	代理人	张华
地址	311100浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区兴国路399号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种CIGS柔性太阳能电池硒源的线性源装置，解决以下镀膜不均匀问题：传统CIGS共蒸法的硒源为点状硒源，硒源到基底属于点状蒸发到基底表面，在点状喷口形成高斯分布，存在横向镀膜不均匀的现象。本装置包括圆柱壳状的线性硒源容器，线性硒源容器的侧面沿圆柱法线方向开设有一条直线型的硒蒸汽喷口，线性硒源容器连接有盒状硒源，盒状硒源内部装有待蒸发的硒金属，盒状硒源设有进料口和点状喷口，盒状硒源在硒金属上方设置加热源。本发明圆柱壳状的线性硒源容器，形成硒蒸汽线性源，减少硒蒸汽输出后的横向扩散，降低盒状硒源供气波动对硒蒸汽输出的影响，提高硒蒸汽的稳定性；同时可以在线性硒源容器进行二次加热，增强硒源二次激发活性。