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一种新型氮氧传感器陶瓷芯片

基本信息

申请号 CN202110529535.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113267552A 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN113267552A 申请公布日 2021-08-17
分类号 G01N27/407 分类 测量；测试;
发明人 易均金;高华;胥家军 申请（专利权）人 高鑫环保科技（苏州）有限公司
代理机构 苏州所术专利商标代理事务所（普通合伙） 代理人 孙兵
地址 215000 江苏省苏州市高新区金燕路8号阳山科技工业园26号二楼西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种新型氮氧传感器陶瓷芯片，涉及传感器技术领域。该氮氧传感器陶瓷芯片包括从上至下依次层叠的第一至第六氧化锆陶瓷层，在第二氧化锆陶瓷层内设置有主泵腔室、辅泵腔室和测量泵腔室，主泵腔室与氮氧传感器陶瓷芯片外部之间通过第一扩散通道连通，主泵腔室与辅泵腔室通过第二扩散通道连通，辅泵腔室与测量泵腔室之间通过第三扩散通道连通，第一扩散通道、第二扩散通道以及第三扩散通道均为孔式进气扩散通道结构。通过采用孔式进气扩散通道结构，有效防止克努森扩散、积碳堵塞以及进气通道微开裂引起的传感器失效问题，降低了氮氧传感器陶瓷芯片劣化的风险，大大提升了氮氧传感器陶瓷芯片生产厂家产品合格率。