用于二维材料生长设备的石英杆锁紧装置

基本信息

申请号 CN202022374636.6 申请日 -
公开(公告)号 CN213744324U 公开(公告)日 2021-07-20
申请公布号 CN213744324U 申请公布日 2021-07-20
分类号 F16B7/02(2006.01)I;F16B7/04(2006.01)I;F16B7/00(2006.01)I 分类 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热;
发明人 康斯坦丁.诺沃舍洛夫;于葛亮;唐阳;葛奇;杨金东;孙正乾 申请(专利权)人 无锡墨诺半导体科技有限公司
代理机构 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 代理人 曹祖良;涂三民
地址 400700重庆市北碚区云禾路70号201室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于二维材料生长设备的石英杆锁紧装置,在石英杆的外部套装有支承套,在石英杆的下端外部套装有下锁紧套与下锁紧帽,支承套下端内锥面与下锁紧套外锥面紧贴,下锁紧帽内螺纹与支承套下端外螺纹拧紧结合,下锁紧帽的上底面与下锁紧套的下端面以及石英杆的下端面接触;在对应支承套上端位置的石英杆的外部套装有上锁紧套与上锁紧帽,支承套上端内锥面与上锁紧套外锥面紧贴,支承套上端外螺纹与上锁紧帽内螺纹拧紧结合,上锁紧帽的下底面与上锁紧套的上端面接触。本实用新型采用挤压锁紧方式且两端同时锁紧,消除了锁紧配合间隙,使石英杆轴心与整个机构保持一致。