飞轮式二维材料生长用静态气体混合器
基本信息
| 申请号 | CN202022826962.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214300347U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214300347U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 | 申请（专利权）人 | 无锡墨诺半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹祖良;涂三民 |
| 地址 | 214174江苏省无锡市惠山经济开发区堰新路311号1号楼1022室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器，它包括混合筒、第一风叶轮、第二风叶轮、第三风叶轮、第二挡板、出气管、第一进气管、第二进气管、下隔板、下隔板通气孔、上隔板、上隔板通气孔、台阶折板与第一挡板；第二进气管的出口偏离第一风叶轮的中心，下隔板通气孔的中心与第一风叶轮的中心呈偏心设置，第二挡板与第一挡板呈对插设置。本实用新型极大地提高了气体混合效果且具有结构简单、拆装方便的优点。 |
