二维材料化学沉积冷却系统
基本信息
| 申请号 | CN202022809643.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214271040U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214271040U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C23C16/46（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 | 申请（专利权）人 | 无锡墨诺半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹祖良;涂三民 |
| 地址 | 214174江苏省无锡市惠山经济开发区堰新路311号1号楼1022室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种二维材料化学沉积冷却系统，它包括制冷机、加热模块固定板、冷却盘孔、加热模块、热传感器、第一三通、第二三通、冷却介质输出主管、冷却介质输入主管、冷却盘管、冷却介质输入支管与冷却介质输出支管。本实用新型能对加热模块固定板进行有效冷却，避免了由于加热模块固定板温度过高而导致机械结构发生变形，保证了二维材料化学沉积过程的正常运行。 |
