一种钼承烧钵

基本信息

申请号 CN202021000556.8 申请日 -
公开(公告)号 CN212457940U 公开(公告)日 2021-02-02
申请公布号 CN212457940U 申请公布日 2021-02-02
分类号 F27D5/00(2006.01)I 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 蒋小明 申请(专利权)人 陕西华星电子开发有限公司
代理机构 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 代理人 石琳丹
地址 712034陕西省西安市西咸新区秦汉新城周陵新兴产业园区天工一路东段10号-3
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种钼承烧钵。钼承烧钵为长方体结构,长度方向的两侧面均匀开设有三排透气孔。该半导体陶瓷半导化工艺包括以下步骤:在密闭炉体中充满75%H2+25%N2的还原气体,给加热钼丝通电使其加热到1000‑1100℃;在钼承烧钵中装满待还原产品,在保证安全的前提下打开密闭炉体的一侧炉门,通过推送机构将承烧钵送进密闭炉体内的耐高温炉管中进行半导化。钼具有在高温还原气氛下不变形、耐高温、耐还原气氛不变色、不起皮,强度高的特点,使得半导体陶瓷半导化工艺中采用钼承烧钵替代Al2O3和不锈钢承烧钵,具有明显的改善工艺适应性的特点,长期来看钼承烧钵经济性更高。