一种用于控制背面刻蚀量的抽气装置
基本信息
| 申请号 | CN202122194097.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216054598U | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN216054598U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李贺杰;裴朝曦;徐志雄 | 申请（专利权）人 | 江苏华恒新能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区高新路29号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于控制背面刻蚀量的抽气装置，具体涉及电池研究技术领域，包括第一电动控制阀，所述第一电动控制阀顶端设置有导入机构；所述导入机构包括设置在第一电动控制阀顶端的导入管，所述导入管一端安装有抽气风机。本实用新型通过设置导入机构，关闭第一电动控制阀和第二电动控制阀，打开第三电动控制阀和第四电动控制阀，这样可以快速将反应箱内空气排出，关闭第三电动控制阀和第四电动控制阀，实现一机两用，既可以抽出空气又可以将抽出的反应气体导入到指定反应区域的两侧以及顶部，导入管道分布均匀，导入气体效率更加均匀，有效降低了设备成本，实用性更好。 |
