一种便于提高单晶扩散的恒温装置
基本信息
| 申请号 | CN202111171759.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113913943A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113913943A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C30B31/12（2006.01）I;C30B31/18（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王天齐;李阳;张圣尧 | 申请（专利权）人 | 江苏华恒新能源有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩娟 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区高新路29号300MW多晶铸锭、线锯、电池片、组件3号楼1-101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种便于提高单晶扩散的恒温装置，包括主体机构和废气处理机构，所述主体机构包括扩散炉主体、炉门、保温桶、挡板、滑道、石英舟和TC管，且扩散炉主体的一侧设置有炉门，同时炉门的内侧设置有保温桶，所述扩散炉主体内设置有滑道和TC管，且滑道上设置有石英舟，所述TC管与扩散炉主体的内底部连接，且扩散炉主体与恒温机构连接，所述废气处理机构设置在扩散炉主体的一侧，且废气处理机构与废热处理机构连接。该便于提高单晶扩散的恒温装置，设置有电热丝，电热丝可对进入扩散炉主体内的气体进行预先加热，从而便于保证扩散炉主体在充入气体时其内部的温度处于某一固定范围内即达到相对恒温的状况，进而便于促进加工件的扩散。 |
