一种晶硅SE电池片热氧化处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202111396767.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114156365A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114156365A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李贺杰;翁娜娜;李果 | 申请（专利权）人 | 江苏华恒新能源有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创策知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王伟 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区高新路29号300MW多晶铸锭、线锯、电池片、组件3号楼1-101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶体硅太阳电池技术领域，具体涉及一种晶硅SE电池片热氧化处理装置；包括输送架、输送带、加热室、控制面板和两个密封单元，加热室的两端分别设置有输送口和输出口，每个密封单元均包括安装板、滑动座、连接件、驱动组件和密封板，将硅片放置在输送带上，当硅片输送至加热室的内部后，启动驱动组件，使得滑动座在安装板上滑动，通过连接件带动密封板下降，从而将输送口和输出口封闭，使得加热腔密封，当硅片的表面在加热腔内热氧化形成二氧化硅氧化层后，启动驱动组件，通过连接件带动密封板上升，从而使得表面氧化后的硅片通过输出口输出，采用上述结构较少人工上下料的步骤，从而提高工作效率。 |
