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一种排片机原点校正系统

基本信息

申请号 CN202010344495.5 申请日 -
公开（公告）号 CN111627850A 公开（公告）日 2020-09-04
申请公布号 CN111627850A 申请公布日 2020-09-04
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 汪山;陆乐;宫林;徐善林;曹玉堂;汪宗华;周虹 申请（专利权）人 文一三佳（合肥）半导体有限公司
代理机构 合肥中博知信知识产权代理有限公司 代理人 文一三佳（合肥）机器人智能装备有限公司
地址 230061安徽省合肥市包河区宁国路79号合肥工大双创园二楼201室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于半导体加工设备技术领域，特别是一种排片机原点校正系统，所述系统包括：加热台和XY部件，所述加热台在垂直方向上设有原点定位针，所述XY部件为四方形，所述XY部件通过连接板连接有Z轴机械手，所述Z轴机械手的底部还设有夹爪；其中，所述Z轴机械手从上往下依次设有滑板和轴承座，述滑块设置在所述连接板下方，所述夹爪包括基座和锥度块，所述锥度块包括校正针和校正针安装座。本发明的有益效果为：实现了高精度定位，提高了设备调试的工作效率，在实际生产中能够得到良好的推广和应用。