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一种排片机结构通道

基本信息

申请号 CN202020670358.6 申请日 -
公开（公告）号 CN211879357U 公开（公告）日 2020-11-06
申请公布号 CN211879357U 申请公布日 2020-11-06
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 汪山;宫林;徐善林;曹玉堂;汪宗华;周虹 申请（专利权）人 文一三佳（合肥）半导体有限公司
代理机构 合肥中博知信知识产权代理有限公司 代理人 文一三佳（合肥）机器人智能装备有限公司
地址 230061安徽省合肥市包河区宁国路79号合肥工大双创园二楼201室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体、集成电路设备技术领域，特别是一种排片机结构通道，应用在系统集成设备中，所述通道为上下结构通道，包括：上通道和下通道，所述上通道包括上基板、上左侧板、上右侧板和上推板，所述下通道包括下基板、下左侧板、下右侧板和下推板；其中，所述上推板还设置有上推板气缸，所述下推板还设置有下推板气缸，所述上推板气缸用以推动所述上推板进行往复运动，所述下推板气缸用以推动所述下推板进行往复运动。本实用新型的有益效果为：实现了两倍的投放量，使生产效率得到提高，满足了现代化集成设备的大批次需求和产品的生产节拍。