一种新型排片机结构通道

基本信息

申请号 CN202020670274.2 申请日 -
公开(公告)号 CN211879356U 公开(公告)日 2020-11-06
申请公布号 CN211879356U 申请公布日 2020-11-06
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 汪山;宫林;徐善林;曹玉堂;汪宗华;周虹 申请(专利权)人 文一三佳(合肥)半导体有限公司
代理机构 合肥中博知信知识产权代理有限公司 代理人 文一三佳(合肥)机器人智能装备有限公司
地址 230061安徽省合肥市包河区宁国路79号合肥工大双创园二楼201室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体、集成电路设备技术领域,特别是一种新型排片机结构通道,其用于系统集成设备中,所述通道为U型通道,包括:中间挡板、后定位边板和驱动机构,所述中间挡板可活动设置在所述通道的中间,所述中间挡板的左侧依次设置有左推板和基板,所述中间挡板的右侧设置有右推板和边板,所述后定位边板构成一横向通道,其中,所述中间挡板、左推板和基板围合而成一左通道,所述中间挡板、右推板和边板围合而成一右通道,所述驱动机构用于带动右推板和左推板进行往复运动,所述后定位边板的两端连接所述左通道和右通道。本实用新型的有益效果为:使生产效率得到提高,满足了现代化集成设备的大批次需求和产品的生产节拍。