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太阳能硅片及电池片缺陷检测系统

基本信息

申请号 CN201210539390.0 申请日 -
公开（公告）号 CN103871919B 公开（公告）日 2016-06-29
申请公布号 CN103871919B 申请公布日 2016-06-29
分类号 H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王利顺;陈利平;裴世铀;李波 申请（专利权）人 苏州中导光电设备有限公司
代理机构 昆山四方专利事务所 代理人 苏州中导光电设备有限公司
地址 215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇临港工业园瑞安路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种太阳能硅片及电池片缺陷检测系统，光致荧光检测平台上设有能够传信于处理器的少子寿命探测器，电致荧光检测平台上设有能够给样品施加直流电源的加电装置，且该加电装置、样品和电致荧光检测平台能够形成一个导电回路，少子寿命检测模块能够朝光致荧光检测平台发射闪光，激光照明系统能够朝光致荧光检测平台和电致荧光检测平台之一发射激光，图像采集系统能够采集样品发出的荧光图像并传信给处理器，本发明一台设备可以分别进行光致荧光检测、电致荧光检测、少子寿命测试和串联电阻测试，样品缺陷检测分析全面、准确，且无需反复更换设备，操作方便，有效提高工作效率，节约了生产成本。