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太阳能硅片线痕高精度检测系统

基本信息

申请号 CN201210073886.3 申请日 -
公开（公告）号 CN103323466A 公开（公告）日 2013-09-25
申请公布号 CN103323466A 申请公布日 2013-09-25
分类号 G01N21/956(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 陈利平;惠施;裴世铀;李波 申请（专利权）人 苏州中导光电设备有限公司
代理机构 昆山四方专利事务所 代理人 苏州中导光电设备有限公司
地址 215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇临港工业园瑞安路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种太阳能硅片线痕高精度检测系统，硅片传送机构带动硅片运动，激光三角位移传感器将探测光斑投射到硅片表面来对其表面高度信息进行测量，硅片位置感应装置能够感应硅片位于激光三角位移传感器检测位置并传信于数据采集卡，数据采集卡采集激光三角位移传感器传输的测量信息并输出数据给处理器，激光三角位移传感器的探测光斑为长轴方向与硅片线痕方向平行且短轴方向与硅片运动方向一致的椭圆光斑，本发明极大地降低了硅片表面的粗糙度对测量线痕的干扰，使得测量只对线痕敏感，有效地提高了线痕测量的精度和准确度，实现了硅片线痕测量的高速检测。