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太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备

基本信息

申请号 CN201310155633.5 申请日 -
公开（公告）号 CN104122266B 公开（公告）日 2016-12-28
申请公布号 CN104122266B 申请公布日 2016-12-28
分类号 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 陈利平;李波;裴世铀 申请（专利权）人 苏州中导光电设备有限公司
代理机构 昆山四方专利事务所 代理人 苏州中导光电设备有限公司
地址 215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇临港工业园瑞安路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，包括机架、硅片传送机构、激光发生装置、荧光成像模块和图像采集‑处理模块，所述激光发生装置、至少一个荧光成像模块和图像采集‑处理模块分别固设于机架上，硅片传送机构能够输送待检测硅片到达检测位置，激光发生装置能够发射垂直于硅片运动方向的激光线并照射检测位置的待检测硅片，荧光成像模块能够对检测位置的硅片发出的荧光信号进行探测并传信于图像采集‑处理模块进行分析和处理，本发明极大的提高了光致荧光成像技术对硅材料的检测速度和最终图像的信噪比，适合产线上的实时检测应用。