蒸发镀膜机及波分复用器件
基本信息
| 申请号 | CN202022826034.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213803961U | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN213803961U | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）;C23C14/54（2006.01）;G01B11/06（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李鑫;王之琦;龚渤 | 申请（专利权）人 | 江苏永鼎光电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 苏州睿昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 马小慧 |
| 地址 | 215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇318国道74K处芦墟段北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蒸发镀膜机及波分复用器件，包括镀膜腔室；白光直接测量模组，其以白光为光源在线测量薄膜的厚度；激光直接测量模组，其以激光为光源在线测量薄膜的厚度；所述白光直接测量模组和激光直接测量模组的其中之一安装在所述镀膜腔室内。本实用新型的蒸发镀膜机及波分复用器件，通过更换使用白光直接测量模组或者激光直接测量模组可以满足多种测试需求：在测量精度要求较低、而要求测量效率较高（比如，批量化生产薄膜）时，使用白光直接测量模组；在测量精度要求较高、而要求测量效率较低（比如，研发阶段、小批量阶段生产薄膜）时，使用激光直接测量模组。 |
