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一种单晶硅加工设备的状态监控装置

基本信息

申请号 CN202122559010.7 申请日 -
公开（公告）号 CN214846374U 公开（公告）日 2021-11-23
申请公布号 CN214846374U 申请公布日 2021-11-23
分类号 G05B19/418（2006.01）I 分类 控制；调节;
发明人 薛佳伟;王海军;薛佳勇 申请（专利权）人 天津众晶半导体材料有限公司
代理机构 天津市鸿图专利代理事务所（普通合伙） 代理人 牛红梅
地址 300000天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号
法律状态 -

摘要

摘要 一种单晶硅加工设备的状态监控装置，包括信号采集器、网关装置和远端电脑，单晶硅加工设备包括有主控制器、主电机和时间计数器，所述单晶硅加工设备主电机的交流接触器的采集端子的输出端、单晶硅加工设备的主控制器上的保养按钮、单晶硅加工设备的时间计数器分别与信号采集器连接，所述的信号采集器与网关装置连接，所述的网关装置与远端电脑连接；所述单晶硅加工设备的时间计数器上设置有蜂鸣器。通过信号采集器采集单晶硅加工设备的运行状态，使得管理人员不用到生产现场就能够随时掌握单晶硅加工设备的运行状态，方便指挥和调度。