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一种氢气回收提纯系统及其控制方法

基本信息

申请号 CN201810107553.5 申请日 -
公开（公告）号 CN108100994A 公开（公告）日 2018-06-01
申请公布号 CN108100994A 申请公布日 2018-06-01
分类号 C01B3/50;B01D53/22;B01D53/26 分类 无机化学;
发明人 吴海雷;马传龙 申请（专利权）人 苏州睿分电子科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 吴海雷;马传龙;苏州睿分电子科技有限公司
地址 100022 北京市朝阳区天创园8号楼1702室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及化工领域，具体公开了一种氢气回收纯化系统及其控制方法，该系统包括依次连接的尾气处理器、除水装置、压缩机、第一缓冲罐、第一气体分离膜组、第一储氢装置以及第二缓冲罐，工业设备的尾气排放口和进气口分别与尾气处理器和第二缓冲罐连接，压缩机将气体压缩至压力不小于5bar，第一气体分离膜组的膜材料由陶瓷材料制成，第一储氢装置的储氢材料为金属合金类储氢材料。本发明通过尾气处理器对氢气初步提纯，通过陶瓷材料制成的分离膜，可以使氢气浓度进一步提纯到99％以上，通过合金类的储氢材料将氢气浓度提高到5N级，解决了现有技术中非泛半导体行业中的氢气回收循环装置不适合泛半导体行业的氢气回收循环问题。