一种氦气的循环纯化系统及循环纯化方法
基本信息
| 申请号 | CN201910583628.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110203895A | 公开（公告）日 | 2019-09-06 |
| 申请公布号 | CN110203895A | 申请公布日 | 2019-09-06 |
| 分类号 | C01B23/00（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 王志高; 吴海雷; 马传龙 | 申请（专利权）人 | 苏州睿分电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 苏州睿分电子科技有限公司 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢综合楼214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种氦气循环纯化系统及方法，所述的氦气循环纯化系统按照氦气流向包括依次连接供气装置和循环单元；所述的循环单元包括闭环循环连接的高压罐、用气设备、低压罐和压缩机，所述供气装置连接高压罐的进气口；所述的氦气循环纯化系统还包括纯化单元，所述纯化单元的进气口和出气口分别连接高压罐的出气口和低压罐的进气口。本发明设计了一种新型的氦气循环工艺，利用高压罐和低压罐之间的压差作为氦气流动的驱动力，通过纯化单元进行实时纯化。相对于集中回收，间歇纯化，本发明提供的循环纯化系统可以实现实时的过滤纯化，对现有设备的改造较小、能耗和投资成本较低、氦气纯度维持稳定等多种优势。 |
