一种疏水快干型硅片承载器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811316825.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110176421A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN110176421A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | H01L21/673;B82Y40/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘哲伟;朱道峰;王国华;陆长征;张宝庆;李海楠;马南;胡笑岩;肖雪 | 申请（专利权）人 | 北京市塑料研究所有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100009 北京市西城区旧鼓楼大街47号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及制备技术领域，特别涉及一种表面疏水，能够被快速干燥的硅片承载器及其制备方法。本发明公开了一种疏水快干型硅片承载器及其制备方法，所述疏水快干功能以在承载器表面制造出微纳结构来实现，所述微纳结构制造方法为：在52～97.5份聚偏氟乙烯树脂中加入1～30份碳纤维，1～10份炭黑，0.5～8份石墨烯，混合后，经双螺杆挤出，造粒，并以所造粒子为原料，经注射或挤出成型，所用注射模具表面经刻蚀处理，形成合适的粗糙表面。硅片承载器可以经过注射一次成型，也可以经过焊接、组装成型。制备的疏水硅片承载器可以减少清洗中的酸和碱混合，增加清洗液效果，另外减少干燥时间，节约能源，提高硅片表面清洁程度。 |
