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可调式晶圆花篮

基本信息

申请号 CN202021861035.1 申请日 -
公开（公告）号 CN212725260U 公开（公告）日 2021-03-16
申请公布号 CN212725260U 申请公布日 2021-03-16
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张小永;周祖武;马南;李海楠 申请（专利权）人 北京市塑料研究所有限公司
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人 李文丽
地址 100031北京市西城区旧鼓楼大街47号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实施例提供一种可调式晶圆花篮，包括：第一齿型结构、第二齿型结构、第一连接板和第二连接板，第一齿型结构和第二齿型结构相对设置，用于放置晶圆，第一连接板固定于第一齿型结构，第二连接板固定于第二齿型结构，且第一连接板上设有第一定位部，第二连接板设有与第一定位部能够匹配连接的第二定位部，使得第一齿型结构和第二齿型结构之间通过第一定位部和第二定位部间距可调连接。本实用新型实施例可通过调节第一连接板的第一定位部和第二连接板的第二定位部的位置关系来调节第一齿型结构和第二齿型结构之间的距离，实现晶圆花篮尺寸可调，以满足各种尺寸的晶圆加工生产需要，兼容性好，操作方便。