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晶圆花篮

基本信息

申请号 CN202021859054.0 申请日 -
公开（公告）号 CN212725259U 公开（公告）日 2021-03-16
申请公布号 CN212725259U 申请公布日 2021-03-16
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张小永;刘哲伟;张宝庆;马南;要博卿;王慧杰;朱道峰 申请（专利权）人 北京市塑料研究所有限公司
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人 李文丽
地址 100031北京市西城区旧鼓楼大街47号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实施例提供一种晶圆花篮，包括：第一端面结构、第二端面结构和侧面结构，第一端面结构和第二端面结构的轮廓相同，侧面结构位于第一端面结构和第二端面结构的两侧，并连接于第一端面结构和第二端面结构之间。本实用新型实施例提供的一种晶圆花篮，采用了第一端面结构和第二端面结构为相同轮廓设计，即正、反面为相同形状，使得生产设备对晶圆花篮的正反面都可以进行识别定位，从而对晶圆进行刻蚀、光刻、镀膜等不同工艺。针对需要双面制程的晶圆，采用本实用新型实施例的晶圆花篮，可无需将晶圆取下，可将晶圆花篮整体翻转实现晶圆的双面制程，避免了晶圆在翻转过程中损坏，提高了生产效率。