一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材
基本信息
| 申请号 | CN201610144765.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105624619B | 公开（公告）日 | 2018-06-19 |
| 申请公布号 | CN105624619B | 申请公布日 | 2018-06-19 |
| 分类号 | C23C14/34;B22F3/16 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 徐从康 | 申请（专利权）人 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 341000 江西省赣州市赣州经济技术开发区一期标准厂房（金岭科技园）17栋3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材，其制备方法包括以下步骤：粉末制备，冷等静压，真空烧结，热等静压，机械加工，铟绑定。该方法工艺简单，操作方便，在热等静压时，不需要常规的包套及氩弧焊，减少后续工序，可大靶管直接进行热等静压，降低生产成本。本方法制备的铝稀土合金旋转溅射靶材成分均匀，长度可达到4000mm或更长，靶管厚度可达到25mm，靶材相对密度≥99.9％，纯度≥99.99％，晶粒尺寸小于30微米，所制备的旋转靶材属于高端旋转靶材，可以运用到更为广泛的领域。 |
