一种动态检测装置及化学机械平坦化设备
基本信息
| 申请号 | CN202210164369.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114220748B | 公开（公告）日 | 2022-06-21 |
| 申请公布号 | CN114220748B | 申请公布日 | 2022-06-21 |
| 分类号 | H01L21/66;H01L21/306 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈阳阳;殷骐 | 申请（专利权）人 | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州凯知专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邵志 |
| 地址 | 311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种动态检测装置，包括：发射单元；反馈单元，用于接收发射单元发出的光束；发射单元和反馈单元分别设于晶圆传输手或晶圆清洗模组；发射单元和反馈单元分别位于晶圆的两侧，当晶圆传输手上夹持有晶圆时，该晶圆可阻挡光束；发射单元或反馈单元随着晶圆传输手移动，可与晶圆清洗模组的任一反馈单元或发射单元配合，用于检测两者之间的光路内是否有晶圆，以判断晶圆传输手上是否夹持有晶圆。本发明还公开了一种化学机械平坦化设备。本发明可以实时检测每个或任意一个晶圆传输手上是否夹持有晶圆；晶圆传输手的移动通道不会被阻隔，移动更加灵活；实现了动态检测，可选择性地与任意晶圆清洗模组配合进行检测。 |
