一种站立式晶圆卡座
基本信息
| 申请号 | CN202123158380.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216773217U | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN216773217U | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱政挺 | 申请（专利权）人 | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州凯知专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 311300浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种站立式晶圆卡座，至少包括一个基座单元；基座单元包括第一晶圆座和第二晶圆座；第一晶圆座顶部带有第一弧形凹面，其朝向第二晶圆座的一侧形成第一作用面，该第一作用面对应第一弧形凹面所在区域；第二晶圆座顶部带有第二弧形凹面，其朝向第一晶圆座的一侧形成第二作用面，该第二作用面对应第二弧形凹面所在区域；第一作用面和第二作用面配合以支撑晶圆竖直站立。本实用新型合理利用了竖直方向的空间；第一弧形凹面和第二弧形凹面、第一作用面和第二作用面的设计，使得晶圆在放入卡座后，部分弧线整体都被限位，更为稳定。 |
