一种抛光垫表面状况在线检测方法及检测系统
基本信息
| 申请号 | CN202210077397.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114083427B | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN114083427B | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | B24B37/005（2012.01）I;B24B49/12（2006.01）I;B24B37/26（2012.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 杨哲;周远鹏;蔡宁远 | 申请（专利权）人 | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州凯知专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 311300浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种抛光垫表面状况在线检测方法，包括以下步骤：光学传感器在抛光垫上方移动，以获取光学传感器与抛光垫表面的距离信息；根据测得的距离信息，区分抛光垫表面液体的分布情况，对应使用不同的修正计算公式，计算得到抛光垫表面沟槽的深度值；将抛光垫表面沟槽修正后的深度值与预设阈值比较，判断抛光垫上的沟槽深度状况，以确定抛光垫是否需要更换。本发明还公开了一种抛光垫表面状况在线检测系统。本发明依靠光学传感器非接触在线测量抛光垫表面状态，防止了接触检测对抛光垫表面可能造成的损害，在线的测量使得抛光垫表面状态的监测及时，能够准确而高效的实现对抛光垫表面状态的检测，检测的时效性更强，测量精确。 |
