一种标定抛光头和装卸台工作位置的装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202210432780.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114678304A | 公开（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申请公布号 | CN114678304A | 申请公布日 | 2022-06-28 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐枭宇;周杲翔;蔡宁远 | 申请（专利权）人 | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州凯知专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 311300浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种标定抛光头和装卸台工作位置的装置，包括：装卸台，可沿直线轨迹往复运动；抛光头，可周向旋转，且其旋转轨迹与直线轨迹至少有一个交点；传感器组件，用于监测抛光头的外缘与传感器之间的间距变化，包括传感器，其至少可在装卸台径向两端的位置进行测距；判断单元，用于输出传感器组件监测的抛光头外缘与传感器之间的最小直线距离，以判断抛光头和装卸台的中心轴线是否重合。本发明还公开了一种标定抛光头和装卸台工作位置的方法。本发明标定效率高，对传感器的安装位置要求低；检测误差小。 |
