声表面波谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011540661.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112886941A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112886941A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H03H9/25;H03H3/08 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 郑根林;张树民 | 申请（专利权）人 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 重庆中之信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 梁欣 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市下城区绍兴路398号国投大厦1420室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了声表面波谐振器，包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器，所述压电基板上具有凹陷部并设有用于填充所述凹陷部的减速层，所述减速层与所述叉指换能器的电极接触以降低在接触位置所在区域的声速；所述接触位置在非中心区域。本发明还公开了声表面波谐振器的制造方法。本发明可消减横向模式。 |
