可抑制横向模式的声表面波谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011536833.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112886938A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112886938A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 郑根林;张树民 | 申请（专利权）人 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 重庆中之信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 梁欣 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市下城区绍兴路398号国投大厦1420室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了可抑制横向模式的声表面波谐振器，包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器，所述叉指换能器的中心区域和两侧汇流区域之间的至少部分区域分别覆盖有第一温度补偿层，所述叉指换能器在两侧的所述第一温度补偿层外侧的部分上以及两侧的所述第一温度补偿层之间覆盖有第二温度补偿层；所述第一温度补偿层的声速比第二温度补偿层低。本发明还公开了可抑制横向模式的声表面波谐振器的制作方法。 |
