一种声表面波器件及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110720319.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113541628A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113541628A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | H03H3/08;H03H3/10;H03H9/02 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 郑根林;牛玉娇;张树民 | 申请（专利权）人 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 重庆中之信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 梁欣 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市下城区绍兴路398号国投大厦1420室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种声表面波器件，包括：压电基板；叉指换能器，设置在所述压电基板上；桥结构，设置在所述压电基板上且其内侧在所述叉指换能器上方形成空腔；电感，其设置在所述桥结构梁部之中、外侧或内侧；所述电感位于所述叉指换能器的上方。本发明还公开了一种声表面波器件制造方法。本发明中采用在前道工序中直接制作电感，降低了声表面波器件的封装成本，为后道工序提供了更多的选择。 |
