一种高稳定性的MEMS谐振器专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种高稳定性的MEMS谐振器

基本信息

申请号	CN202121823251.1	申请日	-
公开（公告）号	CN215912082U	公开（公告）日	2022-02-25
申请公布号	CN215912082U	申请公布日	2022-02-25
分类号	H03H9/24（2006.01）I;H03H9/05（2006.01）I	分类	基本电子电路;
发明人	邓侃	申请（专利权）人	杭州左蓝微电子技术有限公司
代理机构	重庆中之信知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张园
地址	浙江省杭州市拱墅区东新路690号602A-602B
法律状态	-

摘要

本实用新型提出的高稳定性的MEMS谐振器中，振动主体是由第一形状的外轮廓和第二形状的内轮廓限定的环状结构，根据弹性波传播速度的传播轮廓来设计振动主体的内外轮廓形状，通过令第一形状中心点到外轮廓上各边缘点的距离与对应方向上弹性波传播速度在振动主体材料中的大小成相同的比例，使得MEMS谐振器产生纯体积谐振模态，从而提高了MEMS谐振器的稳定性和可靠性。实施例中还给出令振动主体的内外轮廓形状都与振动主体材料在平面内的弹性波传播速度的传播轮廓相一致，并且内外轮廓形状可不一致的方案，提高了MEMS谐振器对不同振动方式的适应性。另外通过将锚结构设置在振动主体中心，支撑结构对称设置在锚结构和振动主体之间，减少了能量损失。