薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器
基本信息
| 申请号 | CN202011568972.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112886939A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112886939A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 张树民;汪泉 | 申请（专利权）人 | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 重庆中之信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗庆 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市下城区绍兴路398号国投大厦1420室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开的一种薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括：衬底和压电三明治结构，所述衬底具有凹槽，所述压电三明治结构至少部分悬设置于所述凹槽的上方，所述凹槽内设置有支撑结构，所述压电三明治结构与所述支撑结构不直接相接，当所述薄膜体声波谐振器正常工作时，所述能量不会从所述压电三明治结构向所述支撑结构泄露，当所述薄膜体声波谐振器的压电三明治结构因重力或其他原因塌陷时，所述支撑结构可以对其起到支撑作用，一定程度上提高了薄膜体声波谐振器的可靠性。 |
