电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110755055.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113651294A | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN113651294A | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | C01B7/19（2006.01）I;B01D3/28（2006.01）I;B01D3/32（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I;B01D53/14（2006.01）I;B01J19/00（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 张亮亮;周黎旸;初广文;童继红;陈建峰;陈刚;孙宝昌;贺辉龙;赵晓亚;张一栋 | 申请（专利权）人 | 中巨芯科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京正理专利代理有限公司 | 代理人 | 赵晓丹 |
| 地址 | 100029北京市朝阳区北三环东路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法，半导体器件的制备过程采用特殊工艺生产的电子级氟化氢进行蚀刻和清洗，本申请的电子级氟化氢，利用亚氟/氟气协同氧化效应结合超重力氧化反应/分离耦合强化技术，将原料中杂质离子深度氧化，显著降低杂质离子含量。根据工业试验结果，采用本发明的系统和方法生产得到的电子级氢氟酸中杂质含量小于3ppt，As、Fe、Ca、B等杂质元素含量均较当前主流工艺减少10倍以上，其中最主要杂质As的含量降低至0.001ug/L以下，相较于当前主流工艺减少200倍以上。 |
