一种具有高深宽比的母版的制作方法、母版及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202010066772.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113138530A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113138530A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 基亮亮;周小红;刘麟跃 | 申请（专利权）人 | 苏州维业达科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海波拓知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周志中 |
| 地址 | 215026江苏省苏州市苏州工业园区新昌路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种具有高深宽比的母版的制作方法，包括：提供一衬底；在衬底上制备一传递层；在传递层制备一具有第一图形凹槽的结构层；对第一图形凹槽进行刻蚀，直至达到所需深度的第三图形凹槽，得到母版，其中，第三图形凹槽包括设置于传递层的第一图形凹槽，及设置于传递层和结构层的第二图形凹槽。本发明还公开一种具有高深宽比的模具的制作方法，对上述母版进行翻版，得到具有高深宽比的模具。本发明还公开了一种具有高深宽比的母版，采用上述具有高深宽比的母版的制作方法制作。本发明还公开一种具有高深宽比的模具，采用上述具有高深宽比的模具的制作方法制作。通过上述方法，便于制作高深宽比的第三图形凹槽，同时对各层的可控性强。 |
