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一种新型大功率激光探测器中热电堆的制备方法

基本信息

申请号 CN202011579511.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112582528A 公开（公告）日 2021-03-30
申请公布号 CN112582528A 申请公布日 2021-03-30
分类号 H01L35/34(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨浩;隋成华;汪飞;方新庭;屠潜 申请（专利权）人 杭州博源光电科技有限公司
代理机构 杭州斯可睿专利事务所有限公司 代理人 王利强
地址 311422浙江省杭州市富阳区富闲路15号浙大网新银湖科技园50号楼
法律状态 -

摘要

摘要 一种新型大功率激光探测器中热电堆的制备方法，包括以下步骤：1)通过在酸性电解液中电离铝阳极氧化的方式在基底铝板底面制备氧化铝绝缘层；2)采用颗粒大小为10μm～50μm硅粉，通过等离子体喷涂法在基底铝板上制备吸光导热层；3)在氧化铝绝缘层表面，使用两套正反Z形螺旋的不锈钢掩模板，通过热电偶粉末和胶水充分混合印刷薄膜热电堆，再在高温下加热烧结，使得结点处两种薄膜热电偶材料颗粒充分融合，制备获得薄膜热电堆。本发明制备方法简单、不需要真空设备、可实现批量生产、成本较低。