一种金刚石生长托盘和系统
基本信息
| 申请号 | CN201911053062.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110714225B | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN110714225B | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C30B29/04（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 彭国令;黄翀 | 申请（专利权）人 | 航天科工（长沙）新材料研究院有限公司 |
| 代理机构 | 长沙楚为知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李大为 |
| 地址 | 410205湖南省长沙市高新开发区文轩路27号麓谷钰园B8栋7楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及金刚石制造领域，尤其涉及一种金刚石生长托盘和系统。一种金刚石生长托盘，包括基部、装设在所述基部上的承台；所述承台为正多棱台形或圆台形，在上表面具有凹槽，所述凹槽的开口处边沿为倒角设计。相较于现有技术，具有以下效果：通过新设计的籽晶托盘，可以维持籽晶表面的等离子体分布及电场分布在最佳状态，保证金刚石籽晶生长环境稳定，降低表面生长缺陷数量，最终合成出高质量的单晶金刚石片；通过新设计的籽晶托盘，可以使籽晶托盘边缘碳黑等杂质生长速率显著降低，保证单次稳定生长时间更长，可以一次性生长更厚的产品，提高生产效率。 |
