一种金属螺旋微纳结构的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811490931.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109375477B | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN109375477B | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | G03F7/20;G03F7/16;C23C14/30;C23C14/18;C23C14/04 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘凯;王天堃 | 申请（专利权）人 | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王新爱 |
| 地址 | 528458 广东省中山市五桂山商业街118号4楼501房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种金属螺旋微纳结构的制备方法，采用涂敷光刻胶，再用电子束刻蚀，最后显影定影的方法制备金属螺旋结构。制备过程只需将写场对准一次，分别曝光四个区域，且只需要蒸镀一次就可以制备出金属螺旋型结构。该结构四周都由光刻胶包围着，可以起到保护金属螺旋微纳结构的作用。 |
