一种新式薄膜晶体管的设计方法
基本信息
| 申请号 | CN201811561139.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109801974A | 公开（公告）日 | 2019-05-24 |
| 申请公布号 | CN109801974A | 申请公布日 | 2019-05-24 |
| 分类号 | H01L29/786（2006.01）I; H01L21/34（2006.01）I; H01L21/336（2006.01）I; G03F1/00（2012.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陆文正 | 申请（专利权）人 | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 代理机构 | 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人 | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 地址 | 350015 福建省福州市马尾区儒江西路6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种新式薄膜晶体管的设计方法，首先，进行第一道光罩导线层制程；其次，进行第二道光罩柵极绝缘层及半导体层制程；然后，进行第三道光罩画素电极制程；最后，进行第四道光罩钝化层制程。本发明的四道光罩TFT制程，与原本五道光罩制程最大的差别是在第三光罩制程，四道光罩制程中的第三道光罩可取代五道光罩制程中的第三、第五道光罩，之后的第四道与五道制程中的第四道相同。本发明能够在不使用HTM光罩的情況下，可将传统五道光罩TFT制程降至四道光罩制程，不仅可减少光罩数及制作流程，也可降低药液、特气等生产成本。 |
