基于MEMS振镜的激光雷达的校准系统和消除图像晃动的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110513021.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113253245A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113253245A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G01S7/497（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 侯继东 | 申请（专利权）人 | 苏州深水渔半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州睿昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 马小慧 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市太仓市大连东路36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 发明公开了一种基于静电电压驱动的MEMS振镜的激光雷达的校准系统以及消除由于外界震动导致的图像失真方法，包括：采用CCD获得MEMS振镜的最佳共振频率和最大驱动幅度。获取校准时没有外界震动时的激光光斑在CCD上的光斑成像坐标和激光探测角度的关系，以消除由于外界震动导致的图像失真。发明的有益效果：本发明使MEMS激光雷达的校准非常简便，消除了由于应力释放、电压偏移、器件老化等因素带来的性能劣化。同时依靠本发明可以消除因外界震动引起的图像扭曲或不可识别的问题。采用本方案后，激光雷达图像的形成并不要求对振镜的旋转角度和驱动电压的线性关系。 |
